دستگاه لايه نشانى در خلا
محصول براى آزمايشگاه هاى ايران طراحى شده است. ايمنى كاربر اولويت اول طراحى مى باشد. سعى شده است تا دستگاه مطابق آنچه در بازار بين المللى قابل قبول است طراحى شود.
تا جاى ممكن تلاش شده است تا دستگاه نسبت به شرايط بد كار و نگهدارى مقاوم و تعميرات و سرويس آن آسان و سريع باشد. و همچنین كمترين نياز به ميزان رسيدگى را داشته باشد .
نمونه اول با پمپ ديفيوژن كار خواهد كرد و بسته به نياز و بودجه مشترى توربو پمپ نيز گزينه موجود خواهد بود.
هدف رسيدن به 5x10^_6 torr خواهد بود. دستگاه داراى ٢ منبع براى sequential deposition است. و قابليت تبخير حدود ٤٠ عنصر و يا تركيب را خواهد داشت . جريان اعمالى تا ٣٧٥ آمپر پيش بينى شده است.
ابعاد دستگاه به صورت تقريبي : HxWxD: 170cmx70cmx70cm
- وضعيت توليد: تعداد زيادى قطعه و مواد اوليه از داخل و خارج از كشور خريدارى شده است . برخى قطعات مشابه نمونه خارجى در داخل ساخته شده است . كار طراحى و ساخت مدار هاى كنترل در حال انجام است .
[ مشاهده ادامه مطلب ]